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洁净室净化等级说明
作者: 百度文库 来源: 百度文库 时间:2017年10月20日 字体:[ ]

等级ISO空气洁净

大于或等于表中粒径的最大浓度限值(P/m -空气)

洁净等级美国联邦209E

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0.2um

0.3um

3520

832

29

100

ISO Class6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

1000

ISO Class7

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83200

2930

10000

ISO Class8

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29300

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ISO Class9

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